LIDROTEC

Lidrotec GmbH ist ein deutsches High-Tech-Unternehmen, das sich auf die Entwicklung und Vermarktung fortschrittlicher laserbasierter Materialbearbeitungstechnologien spezialisiert hat. Mit dem Fokus auf ultrakurze Laserpulse und flüssigkeitsgestützte Bearbeitungsverfahren bietet Lidrotec innovative Lösungen für die Halbleiterindustrie sowie für Anwendungen in Energietechnik, Medizin, Elektronik und Materialwissenschaften. Das Unternehmen verfolgt das Ziel, Produktionseffizienz zu steigern, Ausschuss zu reduzieren und flexible Bearbeitungsmöglichkeiten zu erweitern. Gefördert durch das EXIST-Forschungstransfer-Programm entwickelt Lidrotec robuste Industrielaser-Systeme mit hoher Präzision und Qualität. Neben der Produktentwicklung engagiert sich Lidrotec auch in der intensiven Kundenbetreuung, der Durchführung von Machbarkeitsstudien und der Vertragsfertigung. Das Team von Lidrotec zeichnet sich durch fundiertes Expertenwissen, technische Innovation und einen starken Fokus auf Kundenbedürfnisse aus und arbeitet beständig daran, die Grenzen der Laser-Technologie im industriellen Einsatz zu verschieben.

Das Hauptprodukt ist die patentierte Technologie LidroCUT®, ein laserbasiertes Schneideverfahren in Flüssigkeiten, das speziell für das Präzisionsdicing von Wafern entwickelt wurde. Dieses Verfahren kombiniert ultrakurze Laserpulse mit einem kontrollierten Flüssigkeitsbad, das die Werkstückoberfläche effizient kühlt, Mikrokracks verhindert, sowie Nano- und Mikro-Partikel bindet und entfernt. Dadurch entstehen saubere, gratfreie Schnittkanten ohne Nachbehandlung. Neben hoher Schnittpräzision ermöglicht die Technologie minimale Schnittbreiten und hohe Aspektverhältnisse, was zu einer höheren Ausbeute an Chips pro Wafer führt. Das System ist materialunabhängig und kann alle relevanten Werkstoffe wie Siliziumkarbid (SiC) bearbeiten. Es unterstützt zudem komplexe Chipdesigns, inklusive Freiform-Schnitte, und ermöglicht vielseitige Anwendungen wie vollständige Schnitte, Strukturierungen, Rillen und Funktionalisierungen in einem einzigen Gerät. Die aus Deutschland stammende Anlage ist speziell für Reinraumumgebungen optimiert, bietet eine einfache Plug & Play Installation sowie eine integrierte SECS/GEM Schnittstelle für nahtlose Anbindung und Prozesssteuerung in der Halbleiterproduktion.